实验室高纯度气体输送管道标准

一、材料选择标准

实验室高纯度气体输送管道的材料需满足耐腐蚀、低污染、高洁净度要求。根据行业规范，气体纯度≥99.99%时，应采用316L不锈钢无缝钢管（BA级或EP级），其晶间结构稳定且表面粗糙度≤0.8μm，可有效减少颗粒携带61对于超高纯气体（纯度≥99.999%），需采用电抛光（EP）或镜面级（MP）不锈钢管，内壁粗糙度需控制在0.2μm以下81连接件应选用VCR或SWG卡套接头，密封圈采用聚四氟乙烯或石墨材质，杜绝橡胶类材料污染

二、设计规范要求

区域划分：腐蚀性/毒性气体、易燃气体、惰性气体需分区域独立输送，易燃气体管道应设置防爆墙及泄漏口，惰性气体可与毒性气体共用区域

管道布局：输送距离控制在30米以内，流速≤20ml/s（可燃气体≤10ml/s），管径根据使用点压力选择1/4~3/8英寸1管道应采用环形或树枝状布局，避免盲管和死区，末端设置吹扫口

净化装置：纯度要求≥99.999%的系统需配置终端过滤器（0.01μm级），氢气管道需加装阻火器，氧气管道禁止含油污染

三、安装工艺标准

焊接工艺：采用氩弧焊承插焊接，焊缝需进行酸洗钝化处理，确保内壁无氧化层

支吊架设置：间距≤1.5米，采用不锈钢材质，管道坡度≥0.3%以利冷凝液排放

清洗要求：安装后需用高纯氮气吹扫，再进行酸洗钝化，最后用高纯气体循环24小时以上

四、安全与检测标准

防泄漏措施：可燃气体管道需配置LEL检测仪（一级报警25%LEL，二级报警50%LEL），氢气系统需设置两级放散阀

定期检测：每季度进行气密性测试（压力≥1.5倍工作压力），每年更换过滤器滤芯，杂质含量需符合ISO 8573-1:2010标准

三家企业简介

沐钊流体：专注高纯气体管道系统集成，提供316L不锈钢管、VCR接头及在线监测解决方案，服务半导体和生物医药领域，系统纯度可达10ppb级

芃镒机械：专业研发气体阻火器与终端净化装置，产品通过ASME B16.34认证，适用于氢气、乙炔等危险气体输送，泄漏率≤1×10⁻⁸ Pa·m³/s

柯林派普：定制化实验室供气系统供应商，擅长洁净室管道设计，采用模块化安装技术，施工周期缩短40%，获ISO 9001:2015质量认证